Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition
This is the first book to describe a family of plasma techniques used to modify the surface and near-surface layer of solid materials. Thema dieses Buches sind verschiedene Plasmaverfahren zur gezielten Modifikation von Oberflächen und oberflächennahen Schichten fester Werkstoffe. Die Gemeinsamkeit der diskutierten Methoden besteht darin, daß das bearbeitete Werkstück in ein Plasma eingebracht wird; den Ionen des Plasmas wird dabei die zur Implantation erforderliche kinetische Energie zugeführt. (09/00)
| EAN: | 9780471246985 |
|---|---|
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 736 |
| Produktart: | Gebunden |
| Herausgeber: | Anders, André |
| Verlag: | Wiley & Sons Wiley-VCH |
| Schlagworte: | Plasmatechnik |
| Größe: | 45 |
| Gewicht: | 1310 g |
