Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird ein neues Messsystem, auf Basis der Planspiegelinterferometrie, zur Kalibrierung von parallelkinematischen Werkzeugmaschinen entwickelt, vorgestellt und evaluiert. Eine Darstellung zum Stand der Technik zeigt die bekanntesten parallelkinematischen Werkzeugmaschinen aus Industrie und Forschungsinstituten. Durch Beobachtung des Fehlerverhaltens und Darstellen der wirkenden Mechanismen, werden die Problematik und die Notwendigkeit einer Kalibrierung über den gesamten Arbeitsraum einer Werkzeugmaschine mit Parallelkinematik beschrieben. Unter Anwendung der gängigen Normen zur Vermessung bzw. Bestimmung der Genauigkeit von Werkzeugmaschinen im Allgemeinen, wie ISO 230 oder VDI/DGQ 3441, werden Kalibrierstrategien aufgezeigt, die eine Erhöhung der Genauigkeit ermöglichen. Die Tauglichkeit des neuen Systems wird durch eine Gegenüberstellung mit einem konventionellen Retroreflektorsystem im Messeinsatz, an einer konventionellen Werkzeugmaschine evaluiert.Im finalen Schritt wird das neue Messsystem an der parallelkinematischen Werkzeugmaschine Quickstep HS 500 eingesetzt.