Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben
| Autor: | Holz, Bernhard Fr. |
|---|---|
| EAN: | 9783446178014 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 184 |
| Produktart: | kartoniert, broschiert |
| Verlag: | Hanser Fachbuchverlag |
| Untertitel: | Diss. |
| Schlagworte: | Oberflächentechnik Schleifen Silicium / Silizium |
| Größe: | 210 |
| Gewicht: | 272 g |
